等离子体发生器(plasma generator)用人工方法获得等离子体的装置。等离子体由自然产生的称为自然等离子体(如北极光和闪电),由人工产生的称为实验室等离子体。实验室等离子体是在有限容积的等离子体发生器中产生的。
如果环境温度较低,等离子体能够通过辐射和热传导等方式向壁面传递能量,因此,要在实验室内保持等离子体状态,等离子体发生器供给的能量必须大于等离子体损失的能量。不少等离子体发生器人工产生等离子体的方法(如等离子发生器爆炸法、等离子发生器激波法等)产生的等离子体状态只能持续很短时间(10~10秒左右),而有工业等离子体发生器应用价值的等离子体状态则要维持较长时间(几分钟至几十小时)。
等离子体发生器能产生后一种等离子体的方法主要有:直流弧光放电法、交流工频放电法、高频感应放电法、低气压放电法(例如辉光放电法)和燃烧法。前四种放电都用电学手段获得,而燃烧则利用化学手段获得。
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