传感器用于检测对材料施加的力和位移，进而传输到数据处理系统，形成载荷-位移曲线，被认为是纳米压痕仪的“心脏”。仪器检测的准确度、分辨率主要来源于传感器。Hysitron采用已获得5项专利的三板电容传感 ，靠静电力施加载荷，同时通过板间电容变化测量位移，热漂移小，具有原位施加超低载荷和极高灵敏度的位移测量能力。

Performech控制模块内部反馈控制回路频率高达78KHz，确保载荷 位移函数能捕捉到压痕产生过程中转瞬即逝的变化，如位错、断裂、薄膜剥落等，非常适用于应变速率快的压痕测试，同时能降低噪音背景，实现真正可靠的微观纳米尺度测试。

TI系列使用压头做高精度原位扫描成像，在测试前、后分别获取局部拓扑成像信息，进行精确定位（定位精度可达纳米级）和观察材料 变 形行为，提供“即时”更新的扫描控制和参数显示。PI系列利用电子显微镜自身的成像和摄像功能，在电子显微镜上进行纳米力学测试的同时直接实时观察检测过程 。

硬度、弹性模量、接触深度；摩擦系数、耐划伤性、薄膜附着力、 分层力；3D形貌图、粗糙度、膜厚、压痕/划痕残余深度；耐磨性、磨损深度、磨损体积、纳米加工。

nanoDMA III 配备了新开发的CMX控制算法，提供真实连续的力学性能（包括硬度、储能模量、损耗模量、复合模量）与压痕深度、 频率和时间的函数关系。全面优化的高带宽的传感器和电子控制纳米动态测试，提供业界领先的性能，灵敏度和宽广的动态范围。