[文章导读] 北京欧倍尔等离子表面处理机对物体表面的刻蚀都是纳米级的，肉眼无法识别。等离子表面处理机的刻蚀可以通过功率和时间来进行控制，范围大概在5纳米到200纳米

    等离子表面处理机，又叫等离子平面刻蚀机、等离子体清洗机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子表面处理机刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

（北京欧倍尔等离子表面处理机）

等离子表面处理机可应用于所有的基材，甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗，等离子刻蚀，等离子体镀膜也毫无问题。等离子表面处理机工作时的热负荷及机械负荷都很低，因此，低压等离子体也能处理敏感性材料。等离子表面处理机刻蚀的材料主要分为金属材料和硅。等离子表面处理机刻蚀一般都工作在低气压的条件下。在低气压下，气体分子密度降低，电子自由度增加，因而电子在每两次碰撞之间的加速度能量增加，使电离几率增加。

等离子表面处理机刻蚀对物体表面的刻蚀都是纳米级的，肉眼无法识别。等离子表面处理机刻蚀的刻蚀可以通过功率和时间来进行控制，范围大概在5纳米到200纳米。

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