[文章导读] 等离子表面处理机非平衡等离子体一般是在较低气压下产生的，这时的分子间距较大，电子在空间长距离被加速

等离子体是一个开放的、由外加能量作用于分子态气体而持续产生活泼的非分子态粒子的流动体系。等离子表面处理机（点击了解详情）中等离子体电子和离子的能量状态一般分为T_e≈T_i和T_e?T_i（电子温度Te和

离子温度Ti）两种情况。前者称为平衡态等离子体或高温等离子体，后者称为非平衡态等离子体或低温等离子体。

等离子表面处理机非平衡等离子体一般是在较低气压下产生的，这时的分子间距较大，电子在空间长距离被加速，动能很容易达到10～20eV的高能量。等离子表面处理机这种被加速的电子与气体分子发生非弹性碰撞，使分子轨道断裂，从而使分子激发、离解、电离，生成大量的基态或激发态的原子和带电粒子等。在这种情况下，电子具有较高的动能而其他重粒子的温度较低，体系处于非平衡态。等离子表面处理机非平衡态等离子体中的粒子具有很高的化学活性，利用等离子态氢还原金属氧化物，特别是为还原高熔点极难还原的金属氧化物提供了一种潜在的可能途径。

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