[文章导读] 等离子表面处理机刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式。等离子表面处理机刻蚀是在等离子体存在的条件下，通过平面曝光、溅射、化学反应、辅助能量离子（或电子）与模式转换等方式，精确可控地除去衬底表面上一定深度的薄膜物质而留下不受影响的沟槽边壁上的物质的一种加工过程

      等离子表面处理机（点击了解详情），又叫等离子清洗机等。有等离子刻蚀功能，是干法刻蚀中最常见的一种形式。等离子表面处理机是在等离子体存在的条件下，通过平面曝光、溅射、化学反应、辅助能量离子（或电子）与模式转换等方式，精确可控地除去衬底表面上一定深度的薄膜物质而留下不受影响的沟槽边壁上的物质的一种加工过程，该过程通常是各向异性的，而且是按直线方向进行的。

     等离子表面处理机可应用于所有的基材，甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗，等离子刻蚀，等离子体镀膜也毫无问题。等离子表面处理机运作时的热负荷及机械负荷都很低，因此，低压等离子体也能处理敏感性材料。等离子表面处理机刻蚀的材料主要分为金属材料和硅。等离子表面处理机刻蚀一般都工作在低气压的条件下。在低气压下，气体分子密度降低，电子自由度增加，因而电子在每两次碰撞之间的加速度能量增加，使电离几率增加。

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