[文章导读] 能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。各种元素具有自己的X射线特征波长，
能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
（英国牛津X-act能谱仪）
1.改变束流，在不同计数率下采集石榴石谱峰，获得稳定的能谱定量分析结果
可靠的AutoID自动元素识别；在不同计数率下，均可准确定量；保证计数率从1000到100000cps变化，谱峰漂移及分辨率变化<1eV；在高记数率下，实现自动和同修正；优异的低能端分析性，检测元素Be4到Pu94；能谱仪可实测的MnKa分辨率；符合ISO 15632：2002标准要求；快速可靠的分析性能，基于优异的一体化系统
2.兼容最先进的软件平台
INCAEnergy经典导航模式；操作简单；5秒内即可得到优异的分析结果；在不同计数率下均可进行有效的和峰校正，实现准确定量；60秒内即可完成全谱面分析采集；能谱仪多种报告输出方式；AZtecEnergy牛津能谱仪新一代能谱软件；Tru-Q 无标量定量修正技术——可媲美有标样定量结果；TruMap实时重叠峰剥离及背底扣除的线扫描和面分布；64位多任务能谱分析软件
3.AztecOne采集界面实时元素面分布
界面中有五个功能模块，每个都清楚的显示采集步骤；能谱仪最高分辨率可达到2048；可同时保存二次电子像（SE）和背散射电子像（BSE）；可以对点、矩形区域、椭圆形区域以及自定义区域进行采集。
4.采集mapping之后，重建其中任意颗粒的谱图并比较
根据线上点的数量或点与点的间距定义线扫描；自动采集整条线的X射线谱图；能谱仪可以在一个视场内进行多条线扫描；自动标识元素；无标样定量；和峰修正；快速简便的报告模版功能；多种供选择的模版；以Microsoft Word格式输出。
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