[文章导读] 德国Plasma technology真空等离子清洗机可以用于精细清洁、表面活化、表面刻蚀、表面涂层，处理的均匀性和可重复性好，受到各大高校科研院所的欢迎。
北京大学某学院研究人员需要在材料表面进行刻蚀，在表面生成特殊的微孔结构。但是在用湿法进行表面刻蚀处理样品时，发现产生的微孔结构尺寸过大，难以进行后续的研究。研究人员经过查阅文献，了解现在半导体芯片行业广泛采用真空等离子技术进行表面刻蚀，得到的图案尺寸能到微米甚至纳米级。
研究人员与北京欧倍尔科学仪器有限公司联系后，工程师充分了解客户的样品和需要的处理效果，向客户介绍了Plasma technology真空等离子清洗机的表面刻蚀功能，可以在在纳米级尺度的孔洞。为了确保设备的能满足客户需求，北京欧倍尔请客户寄来样品用样机进行表面刻蚀的处理，得到了一定的实验结果后，才为客户推荐了Plasma technology真空等离子实验室系列的产品。
Plasma technology 真空等离子设备
客户根据样品尺寸和小批量实验需求，最后选用了Plasma technology公司腔体容积为2L的真空等离子清洗机miniflecto，除了对样品进行刻蚀外，还可以用于样品精细清洁、活化等常规应用，满足了多项科研需求。
Plasma technology真空等离子清洗机为德国原装进口，产品型号覆盖2L至150L以及定制的数万升超大腔体容积，可满足实验室、生产各种样品工件、处理规模的需求。设备性能稳定，处理均匀，无耗材，无污染，运行成本低。
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