科研用小型真空等离子设备

科研用真空等离子设备，又称之为等离子表面处理/清洗设备。

欧倍尔是德国Plasmatechnology GmbH 中国独有代理商，实验室系列真空等离子处理系统具备内部预编程处理，可选择不同气体，使用非常灵活。

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  适用于实验室科研、小批量生产，是小部件纳米清洗、表面活化、表面改性的理想选择。

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  PCB 制造、半导体/LED制造、TSP/OLED 设备、真空等离子喷涂系统。

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  MiniFlecto®

  PlasmaFlecto® 10，PlasmaFlecto® 10

  Smart Plasma®

  SmartPlasma 10，SmartPlasma 30

产品选型

产品功能特点

1、工业化生产控制系统

标准版（windows控制系统更适用于科研）

• 可自由编程，实现连续性的处理工序组合

• 多图表实时显示反应动态

• 可连接网络，实现远程操作与维护

• 可新建、储存、删除处理程序模块， 通过密码访问

SMART版（西门子PLC控制系统更适用于常规应用及生产）

• 西门子彩色控制界面

• 精确控制试验时间、真空度、功率等重要参数

• 可连接网络，实现远程操作与维护

• 2、配置安全可靠 • 灵活易用的铝滑动门
  • 电磁安全屏蔽保护
  • 采用气浴电极
  • MFC精密控制流量
  • 多路气体通道
• 3、性能优越 • 极低真空度、快速处理
  • 真空室等离子体分布均匀
  • 绝佳的可重复性
  • 多种型号供选择
  • 自由配置，最贴心的定制服务
• 4、灵活使用，功能广泛 • 表面清洁 (Plasma Cleaning)
  • 表面活化 (Plasma Activation)
  • 表面蚀刻 (Plasma Etching)
  • 表面涂层 (Plasma Coating)
  • 表面钝化 (Plasma

欧倍尔 客户尊享5大服务

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  性能可靠，免费测试免费检测效果，解决
  清洗、活化、等问题；

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  技术支持，无需担忧德国技术支持，
  现场专业维护；

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  24小时，售后服务24小时内响应，提出解决方案，
  48小时内提供备用机；

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  经久耐用无易损、易耗件，
  让您体验真正的德国品质；

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  个性化定制可根据用户具体需求定制
  独一无二的等离子设备。