真空等离子_科研用小型真空等离子清洗机_真空等离子设备-欧倍尔仪器

科研用小型真空等离子清洗机

科研用真空等离子设备，又称之为等离子表面处理/清洗设备。

欧倍尔是德国PlasmaTechnology GmbH 中国独有代理商，实验室系列真空等离子处理系统具备内部预编程处理，可选择不同气体，使用非常灵活。

真空等离子设备适用于实验室科研、小批量生产，是小部件纳米清洗、表面活化、表面改性的理想选择。
真空等离子设备适用于PCB 制造、半导体/LED制造、TSP/OLED 设备、真空等离子喷涂系统。
MiniFlecto®

PlasmaFlecto® 10，PlasmaFlecto® 10

Smart Plasma®

SmartPlasma 10，SmartPlasma 30

真空等离子清洗机型号

型号

控制系统

腔体容积

尺寸

过程控制

工艺编程

可存储工艺

MiniFlecto®

Windows

2.4 L

外部尺寸：500×400×250 mm
腔体尺寸：200 × 110 × 110 mm

√

有

PlasmaFlecto 10

11.5 L

外部尺寸：570×500×300 mm
腔体尺寸：320×190×190 mm

√

PlasmaFlecto 30

32 L

外部尺寸：680×620×430 mm
腔体尺寸：380×290×290 mm

√

SmartPlasma

PLC

2.4 L

外部尺寸：500×400×250mm
腔体尺寸：200×110×110 mm

√

无

100

SmartPlasma 10

11.5 L

外部尺寸：570×500×300 mm
腔体尺寸：320×190×190mm

√

SmartPlasma 30

32 L

外部尺寸：680×620×430 mm
腔体尺寸：380×290×290 mm

√

真空等离子清洗机功能特点

1、工业化生产控制系统

标准版（windows控制系统更适用于科研）

• 可自由编程，实现连续性的处理工序组合

• 多图表实时显示反应动态

• 可连接网络，实现远程操作与维护

• 可新建、储存、删除处理程序模块，通过密码访问

SMART版（西门子PLC控制系统更适用于常规应用及生产）

• 西门子彩色控制界面

• 精确控制试验时间、真空度、功率等重要参数

• 可连接网络，实现远程操作与维护

2、配置安全可靠 • 灵活易用的铝滑动门
• 电磁安全屏蔽保护
• 采用气浴电极
• MFC精密控制流量
• 多路气体通道
3、性能优越 • 极低真空度、快速处理
• 真空室等离子体分布均匀
• 绝佳的可重复性
• 多种型号供选择
• 自由配置，最贴心的定制服务
4、灵活使用，功能广泛 • 表面清洁 (Plasma Cleaning)
• 表面活化 (Plasma Activation)
• 表面蚀刻 (Plasma Etching)
• 表面涂层 (Plasma Coating)
• 表面钝化 (Plasma